next up previous
Next: X線光学系 Up: X線と光の画像計測 Previous: 課題

軟X線・極端紫外線

エネルギーが100 eV$ \sim$ 10 keVの電磁波を軟X線という。 また、紫外線と軟X線の間の領域を極端紫外線という。 両者とも物質との相互作用が強いことが特徴である。 事実、軟X線は空気で減衰する。 次世代半導体リソグラフィで用いられるEUV光もこの領域の光である。

「水の窓」とよばれる領域がある。 原子番号の大きな原子の方が一般にX線の吸収が大きい。 しかし、エネルギー285〜533 eV (波長2.33〜4.35 nm) の領域では逆転してCの方がOより吸収率が高くなっている。 したがってこの波長の光を使うと、水(O)の中で有機物(C)を際立たせることができる。 つまり、生体組織を生きた状態で観測することができる。



Keiichi Takasugi
平成25年9月18日